羅茨水環真空機組在汽蝕狀態下長時間工作，會造成噪聲、振動變大等不良狀況，因此應盡量避免在汽蝕狀態下工作，可通過以下方法：
1、降低工作液的溫度
在羅茨水環真空機組工作點為固定值的前提下，降低工作液的溫度可以達到防止汽蝕的效果。采用具有更低的飽和蒸汽壓的液體作為工作液。
2、運行在安全區域，提高選型的準確性
這要求在選型階段，選擇吸入壓力及工作液溫度時盡量避開容易發生汽蝕的壓力范圍。
3、安裝汽蝕保護管路或單向閥
汽蝕過程中產生的氣泡在壓縮過程中破裂時，從外部引入壓力較高的不凝氣體能夠及時補充因氣泡破裂而出現的空間，這樣可以大大減輕汽蝕對泵的損害及降低汽蝕引起的噪聲和振動。泵的葉輪、圓盤采用防汽蝕能力較強的材質。
4、配大氣噴射器
如果羅茨水環真空機組的吸氣口配有大氣噴射器，則不易發生汽蝕現象。
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